高純物料密閉保護：超純輸送與儲存單元

一、核心功能

1. 全程密閉無污染

   隔絕空氣、粉塵、微生物、金屬離子，防止物料被二次污染。

2. 防氧化、防潮解

   配合惰性氣體保護，保持無氧、低濕環境，保護敏感物料不變質。

3. 低析出、高潔凈

   選用不釋放雜質的材質，避免離子溶出、微粒脫落。

4. 穩定、安全輸送

   實現無脈沖、無泄漏、高精度輸送，滿足小流量、高要求工況。

二、系統組成

• 超純儲罐：不銹鋼電解拋光、玻璃襯 PTFE、塑料潔凈儲罐

• 超純輸送泵：磁力泵、隔膜泵、無軸封低剪切泵

• 超純管路與閥門：EP 級不銹鋼、PFA、PTFE 材質，

• 過濾單元：精密過濾器、除顆粒、除離子、除菌濾芯

• 惰性氣體保護：微正壓氮氣密封，防空氣進入

• 在線監測：顆粒計數、電阻率、TOC、氧含量監測

• 清洗與滅菌系統：CIP/SIP 在線清洗滅菌，避免交叉污染

三、技術特點

• 材質低溶出、無金屬污染，滿足電子化學品、生物醫藥要求

• 全系統無滯留，減少微生物滋生與物料殘留

• 全程密閉、正壓保護，杜絕外界污染與氧化

• 輸送平穩、無脈動，保證物料性質穩定

• 可實現全自動輸送、液位聯鎖、壓力聯鎖控制

四、適用領域

• 電子化學品、高純溶劑、半導體光刻配套試劑

• 制藥原料、注射級試劑、生物制劑

• 高純度精細化學品、香精香料、標準品

• 對離子、顆粒物、微生物嚴格要求的物料